本站消息，根据天眼查APP数据显示华海清科（688120）新获得一项发明专利授权，专利名为“用于晶圆处理的供给通道的清洗方法、装置和系统”，专利申请号为CN202210677960.6，授权日为2025年6月13日。
专利摘要：本发明公开了一种用于晶圆处理的供给通道清洗方法、装置和系统，其中方法包括：第一清洗步骤，在所述供给通道充满化学液之后，采用滴液的方式将化学液通入所述供给通道，以实现对所述供给通道的动态浸泡，从而溶解污染物；第二清洗步骤，所述第一清洗步骤执行一段时间之后，向所述供给通道通入清洗液进行冲洗；按照实际需求重复所述第一清洗步骤和所述第二清洗步骤。
今年以来华海清科新获得专利授权43个，较去年同期增加了138.89%。结合公司2024年年报财务数据，2024年公司在研发方面投入了3.82亿元，同比增25.76%。
数据来源：天眼查APP
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